MKS傳感器，通用型絕對(duì)Baratron,電容式壓力計(jì)
722B 1-25,000 Torr，通用型絕對(duì)Baratron,電容式壓力計(jì)是一款緊湊，低成本的壓力計(jì)，可實(shí)現(xiàn)精確，可重復(fù)和可靠的測(cè)量。堅(jiān)固的傳感器結(jié)構(gòu)允許高過(guò)壓公差，減少線路壓力峰值引起的誤差。722B靈活，節(jié)省空間的設(shè)計(jì)使其成為改造應(yīng)用和新設(shè)備設(shè)計(jì)的理想解決方案。
占地面積小，可減小系統(tǒng)尺
過(guò)壓限制可確保零重復(fù)性或性能不會(huì)降低
全金屬全焊接結(jié)構(gòu)，僅暴露Inconel,和不銹鋼，具有高耐腐蝕性
幾個(gè)早期Baratron,壓力計(jì)的“Drop-in"替代品
Baratron,電容壓力計(jì)技術(shù)
電容式壓力計(jì)是可以測(cè)量壓力和真空的電子機(jī)械壓力表。電容計(jì)將薄膜中的壓力調(diào)制運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為與壓力成比例的電信號(hào)。壓力傳感器是薄膜，其暴露于通過(guò)入口管測(cè)量的壓力或真空。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過(guò)程和參考腔之間的壓力差使膜片稍微偏轉(zhuǎn)，改變了它與電極之間的距離。該距離的變化產(chǎn)生隔膜和電極之間的電容變化，產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號(hào)。
MKS流量計(jì)，多氣體，多范圍質(zhì)量流量控制器
多氣體，多范圍，彈性體密封，50 - 50,000 sccm質(zhì)量流量控制器
G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485，Profibus，EtherCAT或DeviceNetI / O. 數(shù)字控制電子設(shè)備利用新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1％的設(shè)定點(diǎn)精度。
流速?gòu)?到50,000 sccm
Viton，Buna，氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項(xiàng)
建立時(shí)間小于750毫秒
標(biāo)準(zhǔn)封閉電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的0.1％
